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Ausstattung - Dick- und Dünnschichttechnik
Die Sensorherstellung erfolgt vorwiegend in Dick- oder Dünnschichttechnik.
Dickschichttechnik
Es stehen Siebdruckanlagen sowie die Infrastruktur zur Pastenherstellung bereit:
- Ami Presco 485 (halbautomatischer Laborpräzisionssiebdrucker mit optischem Positionierungssystem)
- Simatec Sim 20
- Verschiedene Dreiwalzwerke von Exakt
- Dickschichtofen ATV PEO 610
- Spaltschweißanlage zur Probenkontaktierung
Feinere Strukturbreiten können auch durch Schichtstrukturierung mittels Laser erreicht werden.
- Für die Dünnschichttechnik steht eine Univex 450 Aufdampfanlage zur Verfügung (thermisches - und Elektronenstrahlverdampfen)
- Im Reinraum des Lehrstuhls für Mess- und Regeltechnik, mit dem wir eng kooperieren, befindet sich der Mask-Aligner Süss MA-45:
Durch die Kooperation mit dem Lehrstuhl für Mess- und Regeltechnik steht auch die Dünnschichttechnologie des Lehrstuhls für Mess- und Regeltechnik zur Verfügung:
- Ionsys 1000 (Ionenstrahlsputtern und –ätzen)
- Univex 450 (thermisches - und Elektronenstrahlverdampfen)
- Rasterkraftmikroskop (AFM)
- Elektronenstrahllithographie (Raith)
- Nassbank
- Dünndrahtbonder
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Infrastruktur zur Si-Technologie
Kontakt:
Dr.-Ing. Jaroslaw Kita, Telefon: 49 921 55 7407, Jaroslaw.Kita@uni-bayreuth.de
Dr.-Ing. Gunter Hagen, Telefon: 49 921 55 7406, Gunter.Hagen@uni-bayreuth.de |
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